Shimadzu TMP-3203LM岛津磁悬浮分子泵维修,日本岛津TMP-3203LM/TMP-3203LMC磁悬浮涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统,无需使用油润滑,在运转过程当中,无任何摩擦,是真正做到完全无油、免维护、全方位安装的涡轮分子泵,Shimadzu TMP-3203LM/TMP-3203LMC分子泵进气法兰口ISO320-F ,出气法兰口KF40,抽速可达到3200 L/s,转速为21000 rpm, 极限压力1 x 10-9 Torr(1.3 x 10-9mbar)
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